在(zai)工業(ye)生(sheng)產中,對于平面加(jia)(jia)熱(re)過程(cheng),保(bao)證表面溫度分布的(de)均勻性至關重要。這(zhe)一(yi)點(dian)對于確保(bao)產品質(zhi)量(liang)、提高生(sheng)產效(xiao)率至關重要。而(er)紅(hong)外(wai)線加(jia)(jia)熱(re)技術(shu)由于其高效(xiao)、均勻、可控和非(fei)接(jie)觸(chu)的(de)特(te)點(dian),成為(wei)了解(jie)決平面加(jia)(jia)熱(re)需求的(de)理想(xiang)選(xuan)擇。在(zai)這(zhe)一(yi)領(ling)域,LONGPRO公司推出了一(yi)系列創新技術(shu),旨在(zai)實現(xian)平面高均勻度的(de)紅(hong)外(wai)加(jia)(jia)熱(re),從而(er)滿足不(bu)同行業(ye)的(de)加(jia)(jia)熱(re)需求。
LONGPRO的(de)紅(hong)外線輻射加(jia)熱(re)模(mo)塊通過優化(hua)熱(re)源燈(deng)絲(si)內(nei)部發光體(ti)結構、反(fan)光板結構以(yi)及陣列布燈(deng),使得被加(jia)熱(re)表面(mian)能(neng)夠接收到均勻的(de)紅(hong)外輻射能(neng)量,從而(er)有(you)效降低了溫度不均勻所帶來的(de)不良工藝(yi)質量問題。
LONGPRO平面加熱方案
1、優化(hua)燈絲熱(re)能分布結(jie)構(gou): 通過改進(jin)燈絲(si)的(de)熱能分布結構,實(shi)現了類矩形加(jia)熱,與(yu)傳統的(de)雙尖形加(jia)熱方式相(xiang)比,有效(xiao)減(jian)少了中間區域(yu)的(de)熱聚集,避(bi)免了兩(liang)端(duan)溫度不均勻(yun)的(de)問(wen)題。這(zhe)一技術改進(jin)在晶圓片、電池片、金(jin)屬片等平面材料的(de)加(jia)熱過程(cheng)中具有顯著的(de)效(xiao)果。
2、LONGPRO數據庫+光學運算(suan): 結合先進的(de)數據庫和光學運算技術,精確計算出陣列布(bu)(bu)燈的(de)距離與高度(du)比(bi)例,以確保在(zai)晶(jing)圓表面均(jun)勻分(fen)布(bu)(bu)的(de)紅外輻射(she)能(neng)量,從(cong)而進一步提升加(jia)熱效果(guo)。這種精密(mi)的(de)設計能(neng)夠確保在(zai)加(jia)熱過(guo)程中不同區(qu)域的(de)溫(wen)度(du)分(fen)布(bu)(bu)相對均(jun)勻,提高了生產(chan)效率和產(chan)品(pin)質量。
3、背面弧形光(guang)(guang)學反光(guang)(guang)曲率設計: 采用(yong)背面弧(hu)形光學反光曲率設計,對輻照場(chang)(chang)進(jin)行修正,進(jin)一步提高了整(zheng)個加熱(re)場(chang)(chang)的均(jun)勻性。這(zhe)項技術的應用(yong)能夠有效避免不均(jun)勻的輻射(she)熱(re)場(chang)(chang)現(xian)象,確保加熱(re)過程中的溫(wen)度分布(bu)更(geng)加均(jun)勻。
4、精確的溫度(du)控(kong)制系統:我(wo)們配備了先進的電控系統和非接觸式測溫(wen)探頭,實(shi)現了閉環(huan)控制。這(zhe)意(yi)味(wei)著他們能夠實(shi)時監測材料表(biao)面(mian)的溫(wen)度(du)(du),快速響應并調整加熱功率,以減少溫(wen)度(du)(du)過沖或不足,從(cong)而有效預防可(ke)能導致(zhi)工(gong)藝問題的溫(wen)度(du)(du)波動。這(zhe)種精(jing)確(que)(que)的溫(wen)度(du)(du)控制系統是確(que)(que)保加熱過程(cheng)中溫(wen)度(du)(du)分布均勻的關鍵(jian)。
紅外線輻照(zhao)均勻,精度誤(wu)差:≤±5%
LONGPRO紅外線均(jun)(jun)勻加熱(re)模(mo)塊在(zai)實現平(ping)面高(gao)均(jun)(jun)勻度(du)(du)加熱(re)方面取(qu)得了顯著的進展(zhan)。通過(guo)(guo)優化熱(re)能分(fen)布結構、光學(xue)運算設計(ji)、反(fan)光曲率調整以及精確的溫度(du)(du)控制系統,他們有效解(jie)決了平(ping)面加熱(re)過(guo)(guo)程中的溫度(du)(du)不均(jun)(jun)勻性(xing)問題(ti),為工業生(sheng)產提供了可靠的解(jie)決方案。