在工業(yè)生產(chǎn)中,對(duì)于平面加熱過(guò)程,保證表面溫度分布的均勻性至關(guān)重要。這一點(diǎn)對(duì)于確保產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率至關(guān)重要。而紅外線加熱技術(shù)由于其高效、均勻、可控和非接觸的特點(diǎn),成為了解決平面加熱需求的理想選擇。在這一領(lǐng)域,LONGPRO公司推出了一系列創(chuàng)新技術(shù),旨在實(shí)現(xiàn)平面高均勻度的紅外加熱,從而滿(mǎn)足不同行業(yè)的加熱需求。
LONGPRO的紅外線輻射加熱模塊通過(guò)優(yōu)化熱源燈絲內(nèi)部發(fā)光體結(jié)構(gòu)、反光板結(jié)構(gòu)以及陣列布燈,使得被加熱表面能夠接收到均勻的紅外輻射能量,從而有效降低了溫度不均勻所帶來(lái)的不良工藝質(zhì)量問(wèn)題。
LONGPRO平面加熱方案
1、優(yōu)化燈絲熱能分布結(jié)構(gòu): 通過(guò)改進(jìn)燈絲的熱能分布結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了類(lèi)矩形加熱,與傳統(tǒng)的雙尖形加熱方式相比,有效減少了中間區(qū)域的熱聚集,避免了兩端溫度不均勻的問(wèn)題。這一技術(shù)改進(jìn)在晶圓片、電池片、金屬片等平面材料的加熱過(guò)程中具有顯著的效果。
2、LONGPRO數(shù)據(jù)庫(kù)+光學(xué)運(yùn)算: 結(jié)合先進(jìn)的數(shù)據(jù)庫(kù)和光學(xué)運(yùn)算技術(shù),精確計(jì)算出陣列布燈的距離與高度比例,以確保在晶圓表面均勻分布的紅外輻射能量,從而進(jìn)一步提升加熱效果。這種精密的設(shè)計(jì)能夠確保在加熱過(guò)程中不同區(qū)域的溫度分布相對(duì)均勻,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
3、背面弧形光學(xué)反光曲率設(shè)計(jì): 采用背面弧形光學(xué)反光曲率設(shè)計(jì),對(duì)輻照?qǐng)鲞M(jìn)行修正,進(jìn)一步提高了整個(gè)加熱場(chǎng)的均勻性。這項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用能夠有效避免不均勻的輻射熱場(chǎng)現(xiàn)象,確保加熱過(guò)程中的溫度分布更加均勻。
4、精確的溫度控制系統(tǒng):我們配備了先進(jìn)的電控系統(tǒng)和非接觸式測(cè)溫探頭,實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制。這意味著他們能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)材料表面的溫度,快速響應(yīng)并調(diào)整加熱功率,以減少溫度過(guò)沖或不足,從而有效預(yù)防可能導(dǎo)致工藝問(wèn)題的溫度波動(dòng)。這種精確的溫度控制系統(tǒng)是確保加熱過(guò)程中溫度分布均勻的關(guān)鍵。
紅外線輻照均勻,精度誤差:≤±5%
LONGPRO紅外線均勻加熱模塊在實(shí)現(xiàn)平面高均勻度加熱方面取得了顯著的進(jìn)展。通過(guò)優(yōu)化熱能分布結(jié)構(gòu)、光學(xué)運(yùn)算設(shè)計(jì)、反光曲率調(diào)整以及精確的溫度控制系統(tǒng),他們有效解決了平面加熱過(guò)程中的溫度不均勻性問(wèn)題,為工業(yè)生產(chǎn)提供了可靠的解決方案。