UV晶圓擦除(chu)設備在半導體制造中扮演著至關(guan)重要的(de)角色,尤其在手機屏幕(mu)驅(qu)動(dong)、LCD驅(qu)動(dong)芯片光(guang)擦除(chu)以及光(guang)刻機清(qing)洗(xi)消解等領域。本文將深入探(tan)討UV晶圓擦除(chu)技(ji)術的(de)原理,闡述其在晶圓光(guang)擦中的(de)關(guan)鍵(jian)作用(yong)。
UV晶圓(yuan)(yuan)擦除技(ji)術(shu)是一種基于(yu)紫外光的(de)(de)表面(mian)處理(li)技(ji)術(shu)。其原(yuan)理(li)在于(yu)使用(yong)高強(qiang)度的(de)(de)UV光照射晶圓(yuan)(yuan)表面(mian),使得污染物分解(jie)或揮發(fa),達到清潔表面(mian)的(de)(de)目的(de)(de)。在手機屏幕驅動、LCD驅動芯片等高精密(mi)制(zhi)造中,晶圓(yuan)(yuan)表面(mian)的(de)(de)潔凈度對產(chan)品的(de)(de)性能至關重要(yao)(yao),UV晶圓(yuan)(yuan)擦除技(ji)術(shu)在此背景(jing)下(xia)顯得尤為重要(yao)(yao)。
當前中美關系緊張,尤其在科(ke)(ke)技(ji)領(ling)域存在技(ji)術封鎖。美國(guo)(guo)(guo)對(dui)中國(guo)(guo)(guo)的(de)一(yi)(yi)系列(lie)封鎖措施(shi)直接影響(xiang)了中國(guo)(guo)(guo)的(de)科(ke)(ke)技(ji)產(chan)業(ye)。新(xin)聞(wen)報道顯示美國(guo)(guo)(guo)政(zheng)府對(dui)一(yi)(yi)些(xie)中國(guo)(guo)(guo)科(ke)(ke)技(ji)公司(si)實施(shi)了技(ji)術出(chu)(chu)口禁令,這對(dui)中國(guo)(guo)(guo)半導體產(chan)業(ye)提出(chu)(chu)了巨大的(de)挑戰。與此同(tong)時,中國(guo)(guo)(guo)政(zheng)府通過加強反壟(long)斷政(zheng)策,推(tui)動(dong)產(chan)業(ye)結構調整,提高市場競爭(zheng)效率,努力應對(dui)外部壓力。
在當前(qian)國際環境下,中國強(qiang)調國貨自(zi)強(qiang),特別是(shi)在半(ban)導體(ti)產業。通過自(zi)主研發(fa)、自(zi)主創(chuang)新,減(jian)少對外部技(ji)(ji)術的(de)依賴,是(shi)中國實現科技(ji)(ji)自(zi)主可控(kong)的(de)關(guan)鍵路徑(jing)。國貨自(zi)強(qiang)不僅是(shi)科技(ji)(ji)領域的(de)需要,更是(shi)國家(jia)整體(ti)實力提升的(de)必(bi)經(jing)之路。中國半(ban)導體(ti)產業正通過不斷努力,逐漸在全球半(ban)導體(ti)市場中占據更重要的(de)地位(wei)。
朗普科技(ji)于2015年研發出(chu)首臺UV晶圓擦除設備(bei),如今已經發展到(dao)(dao)第(di)四(si)代機(ji)型(xing)。公司以自主(zhu)研發為主(zhu)導,擁有多項(xiang)專利技(ji)術,貨期短、價格低,光照強度達到(dao)(dao)或超過80mw/cm2。此外,與中電二所、科研院校等單位的(de)合(he)作開發為公司帶來了技(ji)術創(chuang)新的(de)源泉(quan)。
照射平面的光學模擬
展(zhan)望未來,UV晶(jing)圓擦(ca)除技(ji)術在(zai)手機屏幕、LCD驅動芯片等領(ling)域的(de)(de)(de)應(ying)用將(jiang)繼續擴大(da)。隨著國(guo)際環境(jing)的(de)(de)(de)變化,中(zhong)國(guo)半(ban)導體產(chan)業需要更多的(de)(de)(de)自主創新,推動整個產(chan)業鏈(lian)的(de)(de)(de)升級。朗普科(ke)技(ji)的(de)(de)(de)UV晶(jing)圓擦(ca)除也為中(zhong)國(guo)半(ban)導體產(chan)業的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)注入了新的(de)(de)(de)活(huo)力。